無塵車間主要劃分為以下幾個等級:
(1)一級無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的精確要求為亞微米。
(2)10級:10級無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
(3)100級:100級無塵車間不是無菌室,100級無塵車間對無菌或無塵環(huán)境嚴(yán)格,100級無塵室可用于醫(yī)藥行業(yè)無菌制造技術(shù)等,該無塵車間廣泛應(yīng)用于體內(nèi)物品制造、手術(shù),包括移植、集成器制造、對細(xì)菌感染特別敏感的患者隔離治療,如骨髓移植患者術(shù)后隔離治療。
(4)1000級:千級無塵車間主要用于生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)光學(xué)產(chǎn)品,也用于測試、組裝飛機(jī)蛇螺儀、組裝優(yōu)質(zhì)微型軸承等。
(5)1萬級:萬級無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的組裝,在某些情況下也用于食品飲料行業(yè)。此外,萬級無塵車間也廣泛應(yīng)用于醫(yī)療行業(yè)。
(6)10萬級:10萬級無塵車間用于許多工業(yè)部門,如光學(xué)產(chǎn)品制造、大型電子系統(tǒng)小部件制造、液壓或氣壓系統(tǒng)制造、食品飲料生產(chǎn)、醫(yī)藥、制藥行業(yè)也經(jīng)常使用。
(7),30萬級:30萬級無塵車間級別較低,用于普通潔凈區(qū),如低級走道。
無塵車間的建設(shè)原則:
1、選址原則:無塵車間地址的選擇應(yīng)符合生產(chǎn)方便、生活方便、投資經(jīng)營成本節(jié)約的原則。廠址應(yīng)位于自然環(huán)境和水質(zhì)較好、大氣粉塵濃度較低、地形、地物、地貌引起的小氣候,有利于生產(chǎn)和節(jié)能。遠(yuǎn)離機(jī)場、鐵路、碼頭、交通主干道等散發(fā)大量粉塵、煙霧、有毒氣體和微生物的區(qū)域,并在污染源和年度主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面有一定的保護(hù)距離。無塵車間與主干道的距離應(yīng)在50米以上。
2、動線規(guī)劃要點(diǎn):檢查分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原材料搬運(yùn)及操作流程,盡量縮短動線,避免交叉,防止交叉污染。操作人員、化學(xué)品、材料等動線不集中;無塵車間周圍應(yīng)設(shè)置緩沖區(qū);制造裝置的進(jìn)出不應(yīng)對操作產(chǎn)生很大影響。
3、部分空氣凈化系統(tǒng)空氣,如處理后仍不能避免交叉污染,不能回收:固體材料粉碎、稱重、成分、混合、成分、壓片、包裝、灌裝等工藝;有機(jī)溶劑精制原料、干燥工藝;放射性藥物生產(chǎn)區(qū);病原體操作區(qū);過程中產(chǎn)生大量有害物質(zhì)和揮發(fā)性氣體;固體口服制劑顆粒。
4、節(jié)能原則:無塵車間有很多地方可以節(jié)約能源,如供暖、通風(fēng)、空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣等設(shè)施。HVAC系統(tǒng)消耗的功率超過整個晶片制造商的一半。造成大量電力浪費(fèi)和HVAC容量過剩的原因很大程度上是因?yàn)樵诠S的設(shè)計(jì)和建設(shè)中走捷徑,盡可能減少前期投資,而不顧后期運(yùn)營成本。